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专利名称: 低成本制作复杂三维微结构或微器件方法
专利号(申请号): ZL200610042831.0
批准日期(申请日期): 2010.01.15
批准部门: 国家知识产权局
发明人姓名: 兰红波,丁玉成, 刘红忠,卢秉恒
专利类型: 已授权
成果描述:
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