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中文名称:电阻蒸发镀膜机

型号规格:ZHD-400

负责人:李吉成

E-mail:lijicheng1956@126.com

生产厂商:北京泰科诺,中国

机器状态:正常

对外服务:

联系电话:029-83395005

所在地点:曲江校区西五楼洁净室

主要性能指标:

技术参数: 1. 真空室:Φ400mm×H400mm;基片台尺寸:Φ120mm。 2. 工件运动方式:公转无级变速可控可调(0-30RPM)。 3. 极限真空:5.0×10-5Pa;气到10-3Pa小于20分钟。 主要特点 1. 三对蒸发电极,3台蒸发电源,分子泵+机械泵真空系统。 2. 报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施。

主要功能:

仪器简介: ZHD-400型高性能蒸发镀膜设备,真空系统为由主阀、分子泵、机械泵组成高真空抽气系统,真空室为优质不锈钢腔室,含三对水冷蒸发电极。选用全新的工控机自控控制,具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点。
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