仪器设备

SPT-20?离子溅射仪

发布时间:2018-11-03

中文名称:SPT-20?离子溅射仪

型号规格:CoxemSPT-20

负责人:李彬

E-mail:libin2008_libin@163.com

生产厂商:

机器状态:仅测试使用

对外服务:

联系电话:17762018756(预约请电话联系)

所在地点:山东省青岛市胶州国家级经济技术开发区生态大道1号

设备预约

主要性能指标:

旋转泵:2级直连式高速真空泵24L/min(60Hz)AC220V100W;旋片试机械泵:100L/min;真空控制:自动,真空度液晶屏显示,溅射完毕自动卸载真空;最大电离电压:3KV;离子电流:1-9mA;靶材:铂金靶材Pt/?50*0.1T(厚度);样品室:内径100mm*100高;样品台:可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm。

主要功能:

主要用于对非导电样品进行表面镀膜处理,以适应扫描电镜分析要求,避免电荷效应的产生。
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